Zugl.: Berlin, Freie Universiẗat, Diss., 2003.

Proefschrift--Amsterdam. / "Stellingen" ([3] p.) laid in. Includes bibliographical references.

Ulm, Univ., Diss., 2008.

Zugl.: Stuttgart, Univ., Diss., 2009

Nepřesnosti při výrobě a sestavení rotačně souměrné čočky a deflektrou a jejich přesného zařazení do elektronově optického systému se projeví jako dodatečné pole příslušné symetrie, které deformuje ideální zobrazení. Tato dodatečná pole dokážeme spočítat pomocí metody konečných prvků v programu EOD. Toleranční analýza spočívá ve stanovení požadavků na rozměry a sestavení jednotlivých prvků a jejich částí. Korekce vad seřízení pak spočívá v určení typu a polohy korekčních vychylovacích cívek a multipólů tak, aby se tyto dodatečné vady odstranily, nebo aby se minimalizoval jejich vliv. Cílem disertační práce je analýza projevů vad seřízení a chování neseřízených systémů prozařovacích elektronových mikroskopů.

The aim of this master's thesis is to explore and study dynamic aberration correction options in electron-beam lithography systems. For the calculations, the thesis uses the optical column of the BS600 electron-beam writer. The thesis focuses on corrections of the third order field curvature, astigmatism, and distortion aberrations of the currently used magnetic deflection system and a newly designed electrostatic deflection system. The parameters of the two deflection and correction systems were compared.

This thesis describes the physical nature of corrections of an electron microscope and mathematical methods of image processing required for their complete automation. The corrections include different types of focusing, astigmatism correction, electron beam centring, and image stabilisation. The mathematical methods described in this thesis include various methods of measuring focus and astigmatism, with and without using the Fourier transform, edge detection, histogram operations, and image registration, i.e. detection of spatial transformations in images. This thesis includes detailed descriptions of the mathematical methods, their evaluation using an “offline” application, descriptions of the algorithms of their implementation into an actual electron microscope and results of their testing on the actual electron microscope, in the form of a video footage grabbed from its control computer’s screen.

Vor dem Hintergrund einer messdatengetriebenen Instandhaltung und Prozessoptimierung gewinnen Konzepte wie Condition Monitoring zunehmend an Bedeutung. Zur schnellen inline-Bewertung insbesondere zerspanender Fertigungsverfahren ist dazu die Messung mechanischer Schwingungen erforderlich. Berührungslose optische Sensorik spielt aufgrund hoher Auflösungen und Abtastraten eine wachsende Rolle. In diesem Gebiet positioniert sich die vorliegende Arbeit und leistet einen Beitrag für die alternative Schwingungssensorik. Für den Anwendungsfall eines zu überwachenden Längsdrehprozesses wird die astigmatische Fokusdetektion als einfaches Messverfahren sowie als Ergänzung zum bestehenden Technikstand identifiziert. Die Eignung dieses in optischen Leseköpfen (Pickup-Einheiten) verwendeten Verfahrens kann durch eine multikriterielle Bewertung anhand der Literatur beurteilt werden. Simulationen sowie der Realaufbau eines prototypischen auf DVD-Pickup-Einheiten basierenden Vibrations-Messsystems lassen Erkenntnisse über die Skalierbarkeit und Handhabung des Ansatzes zu. Im Rahmen eines Feldtests des Pickup Messsystems werden Werkzeugschwingungen in einem Längsdrehprozess inline erfasst. Im Ergebnis lassen sich die entsprechenden Amplituden-Frequenz-Spektren des Messsignals mit nachträglichen Profilmessungen des Werkstücks vergleichen. Der vorgestellte Ansatz kann während der Bearbeitung einen Rückschluss auf die Werkstück-Welligkeit ermöglichen.