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1	Ein Verfahren zur Herstellung zweidimensionaler Röntgenwellenleiter / Nanostructured X-ray waveguides for holographic imaging Neubauer, Henrike 18 July 2012 (has links) Eine grundlegende Schwierigkeit in der Röntgenoptik liegt in der Bereitstellung geeigneter Optiken. So ist aufgrund der schwachen Wechselwirkung der Röntgenstrahlung mit Materie der Einsatz brechender Optiken nicht sinnvoll, und es wird auf alternative Konzepte wie Röntgenwellenleiter zurückgegriffen. Röntgenwellenleiter sind nicht-dispersive strahlführende Optiken, welche die Kohärenz der Röntgenstrahlung filtern und als quasi-Punktquellen fungieren. Hierbei wird der Röntgenstrahl in einer oder zwei Dimensionen räumlich beschränkt, wobei der Wellenlängenbereich der Röntgenstrahlung eine Abmessung im sub-100 nm-Bereich erfordert. In der vorliegenden Arbeit wurde ein Verfahren etabliert, mit welchem die Herstellung von Wellenleiterkanälen im sub-50 nm-Bereich in Silizium gelingt. Die Prozessierung basiert hierbei auf einem Schema aus elektronenstrahllithographischer Belichtung, Reaktivem Ionenätzen und Wafer bonding. Das Verfahren ist variabel in Bezug auf verschiedene Wellenleitergeometrien, beispielsweise gekreuzte Wellenleiter und Kanalwellenleiter, ist auf alternative Materialien übertragbar, und erlaubt die Strahlführung auf in einer Dimension gekrümmten Pfaden. Die im Rahmen der vorliegenden Arbeit hergestellten Wellenleiter wurden erfolgreich an verschiedenen Synchrotron-Messplätzen eingesetzt und ihre Fernfelder charakterisiert, und der kohärente Wellenleiterstrahl wurde in der Röntgenmikroskopie und der holographischen Bildgebung eingesetzt. Es finden sich sowohl für die Quellgröße der Wellenleiter als auch für die Auflösung in der Bildgebung Werte im sub-50 nm-Bereich. 530 Physik (PPN621336750) Röntgenoptik Röntgenmikroskopie Wellenleiter Elektronenstrahllithographie Reaktives Ionenätzen Wafer bonding X-ray optics X-ray microscopy waveguides electron beam lithography reactive ion etching wafer bonding
2	X-ray waveguide optics: Beyond straight channels Hoffmann-Urlaub, Sarah 18 October 2016 (has links) No description available. 530 Physik (PPN621336750) Röntgenwellenleiter Kohärenz Röntenbildgebung Elektronenstrahllithographie Reaktives Ionenätzen Waferbonding Optischer Vortex Strahlteiler Phasenrekonstruktion Finite Differenzen Simulation Belacken x-ray waveguide Coherence Wafer bonding Electronbeam lithography Reactive ion etching X-ray imaging Phase retrieval Optical vortex Beamsplitter Nanobeam Finite difference simulation Advanced channel geometries spin-coating

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Ein Verfahren zur Herstellung zweidimensionaler Röntgenwellenleiter / Nanostructured X-ray waveguides for holographic imaging

X-ray waveguide optics: Beyond straight channels