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Charakterisierung des CVD-Beschichtungsprozesses von C-Fasern mit pyro-Kohlenstoff

Meyer, Norbert 29 January 1997 (has links)
In der Arbeit werden Moeglichkeiten der Charakterisierung des Beschichtungsprozesses von C-Fasern mit pyro-Kohlenstoff vorgestellt. Dabei liegt der Schwerpunkt der Untersuchungen auf der ramanspektroskopischen Charakterisierung der Ober- flaechenstruktur von modifizierten Fasern. Die Unter- suchungen zeigen den Einfluss verschiedener Prozessparameter (Reaktortemperatur, Gasphasenkonzentration, Auswahl des jeweiligen Precursors etc.) auf die Oberflaechenstruktur der abgeschiedenen Schichten. Der Nachweis einer Vorzugsorientierung der Graphitmikro- kristallite auf der Faseroberflaeche wird mit verschiedenen Analysenmethoden durchgefuehrt. Dabei werden die ramanspektroskopischen Messergebnisse mit Ergebnissen anderer Methoden (wie Elektronenbeugung und Elektronenmikroskopie) verglichen. Waehrend des Beschichtungsprozesses wird die Gasphasen- zusammensetzung im Reaktor analysiert. Das Zersetzungs- verhalten von unterschiedlichen Precursoren bei verschiedenen Temperaturen wird untersucht. Korrelationen zwischen den einzelnen Precursoren aufgezeigt.
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Charakterisierung des CVD-Beschichtungsprozesses von C-Fasern mit pyro-Kohlenstoff

Meyer, Norbert 22 November 1996 (has links)
In der Arbeit werden Moeglichkeiten der Charakterisierung des Beschichtungsprozesses von C-Fasern mit pyro-Kohlenstoff vorgestellt. Dabei liegt der Schwerpunkt der Untersuchungen auf der ramanspektroskopischen Charakterisierung der Ober- flaechenstruktur von modifizierten Fasern. Die Unter- suchungen zeigen den Einfluss verschiedener Prozessparameter (Reaktortemperatur, Gasphasenkonzentration, Auswahl des jeweiligen Precursors etc.) auf die Oberflaechenstruktur der abgeschiedenen Schichten. Der Nachweis einer Vorzugsorientierung der Graphitmikro- kristallite auf der Faseroberflaeche wird mit verschiedenen Analysenmethoden durchgefuehrt. Dabei werden die ramanspektroskopischen Messergebnisse mit Ergebnissen anderer Methoden (wie Elektronenbeugung und Elektronenmikroskopie) verglichen. Waehrend des Beschichtungsprozesses wird die Gasphasen- zusammensetzung im Reaktor analysiert. Das Zersetzungs- verhalten von unterschiedlichen Precursoren bei verschiedenen Temperaturen wird untersucht. Korrelationen zwischen den einzelnen Precursoren aufgezeigt.

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