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1	Beiträge zum isotropen nasschemischen Ätzmechanismus von Silicium in konzentrierten Flusssäure-Salpetersäure-Ätzmischungen Steinert, Marco January 2007 (has links) Zugl.: Dresden, Techn. Univ., Diss., 2007
2	An industrial CMOS process family for integrated silicon sensors / Müller, Thomas. January 1999 (has links) Diss. no. 13463 nat. sc. SFIT Zurich. / Im Buchh.: Konstanz : Hartung-Gorre-Verlag. Literaturverz.
3	Einflüsse von Verunreinigungen im Silicium und in der Ätzlösung auf das anisotrope Ätzen von Silicium in wäßrigen KOH-Ätzlösungen Hein, Aylin. Unknown Date (has links) (PDF) Techn. Universiẗat, Diss., 2000--Berlin.
4	Kristalline Silizium-Solarzellen mit selektiver Emitterstruktur Entwicklung, Implementierung und Potential einer zukunftsweisenden Technologie Haverkamp, Helge January 2009 (has links) Zugl.: Konstanz, Univ., Diss., 2009
5	Laser-based etching technique for micro, nano patterning of transparent materials laser-induced backside wet etching (LIBWE) Böhme, Rico January 1900 (has links) Zugl.: Halle (Saale), Univ., Diss., 2007 u.d.T.: Laser induced backside wet etching of glasses and crystals / Hergestellt on demand
6	Modellierung und Simulation orientierungsabhängiger Ätzprozesse in Silizium Horn, Anton. Unknown Date (has links) Techn. Universiẗat, Diss., 2005--München.