Return to search

Optimalizace procedury měření optického záření rozptýleného pevnými tělesy prováděného scattermeterem / Optimizing measurement procedure of the optical radiation scattered by solid surface performed by the scattermeter

Tato práce se zabývá optimalizací procedury měření optického záření rozptýleného pevnými tělesy prováděného pomocí scatterometru. V práci je popsáno několik metod použitelných k nalezení souboru pozic nepřekrývajících se kruhových detektorů na povrchu polokoule (i koule). Výsledky práce jsou aplikovány na samotný meřicí přístroj a je ukázána shoda experimentálních výsledku získaných před i po optimalizaci. Výhodu nového uspořádání lze nalézt především v převedení dřívejšího způsobu měření na soubor nezávislých měření, což má význam pro matematické zpracování výsledků.

Identiferoai:union.ndltd.org:nusl.cz/oai:invenio.nusl.cz:230973
Date January 2013
CreatorsKlus, Jakub
ContributorsKaiser, Jozef, Ohlídal, Miloslav
PublisherVysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství
Source SetsCzech ETDs
LanguageEnglish
Detected LanguageUnknown
Typeinfo:eu-repo/semantics/masterThesis
Rightsinfo:eu-repo/semantics/restrictedAccess

Page generated in 0.0019 seconds