Tato práce se zabývá optimalizací procedury měření optického záření rozptýleného pevnými tělesy prováděného pomocí scatterometru. V práci je popsáno několik metod použitelných k nalezení souboru pozic nepřekrývajících se kruhových detektorů na povrchu polokoule (i koule). Výsledky práce jsou aplikovány na samotný meřicí přístroj a je ukázána shoda experimentálních výsledku získaných před i po optimalizaci. Výhodu nového uspořádání lze nalézt především v převedení dřívejšího způsobu měření na soubor nezávislých měření, což má význam pro matematické zpracování výsledků.
Identifer | oai:union.ndltd.org:nusl.cz/oai:invenio.nusl.cz:230973 |
Date | January 2013 |
Creators | Klus, Jakub |
Contributors | Kaiser, Jozef, Ohlídal, Miloslav |
Publisher | Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství |
Source Sets | Czech ETDs |
Language | English |
Detected Language | Unknown |
Type | info:eu-repo/semantics/masterThesis |
Rights | info:eu-repo/semantics/restrictedAccess |
Page generated in 0.0019 seconds