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Análise e melhoria global de um processo industrial de litografia

Tese de mestrado. Automação Instrumentação e controlo. Faculdade de Engenharia. Universidade do Porto. 2004

Identiferoai:union.ndltd.org:up.pt/oai:repositorio-aberto.up.pt:10216/12099
Date January 2004
CreatorsAlmeida, Luís Fernando Carvalho de
ContributorsFaria, José António Rodrigues Pereira de, Universidade do Porto. Faculdade de Engenharia
Source SetsUniversidade do Porto
LanguagePortuguese
Detected LanguagePortuguese
TypeDissertação
FormatXVIII, 155 f., 30 cm, application/pdf, application/pdf, application/pdf, application/pdf
RightsopenAccess
RelationFEUP, SDI, RiFEUP

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