高周波プラズマ型荷電粒子源の開発とその応用 / コウシュウハ プラズマガタ カデン リュウシゲン ノ カイハツ ト ソノ オウヨウ

Description

Kyoto University (京都大学) / 0048 / 新制・論文博士 / 博士(工学) / 乙第12337号 / 論工博第4015号 / 新制||工||1466(附属図書館) / 27192 / UT51-2009-D552 / (主査)教授 石川 順三, 教授 橘 邦英, 教授 髙岡 義寛 / 学位規則第4条第2項該当

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1. http://hdl.handle.net/2433/77985
2. 000010332433
3. 10.14989/doctor.r12337

Tags

イオン注入

極浅接合形成

帯電緩和

高周波プラズマ

500

Additional Fields

Identifer	oai:union.ndltd.org:kyoto-u.ac.jp/oai:repository.kulib.kyoto-u.ac.jp:2433/77985
Date	23 March 2009
Creators	酒井, 滋樹
Contributors	石川, 順三, 橘, 邦英, 髙岡, 義寛, Sakai, Shigeki, サカイ, シゲキ
Publisher	京都大学 (Kyoto University), Kyoto University
Source Sets	Kyoto University
Language	Japanese
Detected Language	Japanese
Type	DFAM, Thesis or Dissertation
Format	application/pdf