球面収差補正用薄膜レンズを用いた走査透過電子顕微鏡の高分解能化に関する研究

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科学研究費補助金 研究種目:試験研究 課題番号:61850069 研究代表者:日比野 倫夫 研究期間:1986-1987年度

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1. http://hdl.handle.net/2237/12928

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電子レンズ

走査透過電子顕微鏡(STEM)

薄膜レンズ

球面収差

Electron lens

SN比

Foil Lend

分解能

Recolution

球面収差補正

電子プローブ

Shperical aberration

収差補正

Correction

Electron Probe

Additional Fields

Identifer	oai:union.ndltd.org:NAGOYA/oai:ir.nul.nagoya-u.ac.jp:2237/12928
Date	03 1900
Creators	日比野, 倫夫, 花井, 孝明, 杉山, せつ子, 下山, 宏
Source Sets	Nagoya University
Language	Japanese
Detected Language	Japanese
Type	Research Paper