Nepřesnosti při výrobě a sestavení rotačně souměrné čočky a deflektrou a jejich přesného zařazení do elektronově optického systému se projeví jako dodatečné pole příslušné symetrie, které deformuje ideální zobrazení. Tato dodatečná pole dokážeme spočítat pomocí metody konečných prvků v programu EOD. Toleranční analýza spočívá ve stanovení požadavků na rozměry a sestavení jednotlivých prvků a jejich částí. Korekce vad seřízení pak spočívá v určení typu a polohy korekčních vychylovacích cívek a multipólů tak, aby se tyto dodatečné vady odstranily, nebo aby se minimalizoval jejich vliv. Cílem disertační práce je analýza projevů vad seřízení a chování neseřízených systémů prozařovacích elektronových mikroskopů.
| Identifer | oai:union.ndltd.org:nusl.cz/oai:invenio.nusl.cz:234235 |
| Date | January 2014 |
| Creators | Sháněl, Ondřej |
| Contributors | Radlička, Tomáš, Tiemeijer,, Peter Christiaan, Zlámal, Jakub |
| Publisher | Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství |
| Source Sets | Czech ETDs |
| Language | English |
| Detected Language | Unknown |
| Type | info:eu-repo/semantics/doctoralThesis |
| Rights | info:eu-repo/semantics/restrictedAccess |
Page generated in 0.0019 seconds