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Ätzen von Titannitrid mit Halogenverbindungen Kammerreinigung mit externer Plasmaquelle

Zugl.: Dresden, Techn. Univ., Diss., 2009

Identiferoai:union.ndltd.org:OCLC/oai:xtcat.oclc.org:OCLCNo/502398716
Date January 2009
CreatorsHellriegel, Ronald
PublisherNorderstedt Books on Demand GmbH
Source SetsOCLC
LanguageGerman
Detected LanguageGerman

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