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Frequenzselektive Vibrationssensoren mit spannungsgesteuerter Resonanzabstimmung in Oberflächenmikromechanik

Techn. Universiẗat, Diss., 2002--Chemnitz.

Identiferoai:union.ndltd.org:OCLC/oai:xtcat.oclc.org:OCLCNo/176878081
CreatorsWibbeler, Jürgen.
Source SetsOCLC
LanguageGerman
Detected LanguageGerman

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