Frequenzselektive Vibrationssensoren mit spannungsgesteuerter Resonanzabstimmung in Oberflächenmikromechanik

Description

Techn. Universiẗat, Diss., 2002--Chemnitz.

Links & Downloads

1. http://archiv.tu-chemnitz.de/pub/2003/0136/index.html
2. http://deposit.d-nb.de/cgi-bin/dokserv?idn=970274238
3. http://archiv.tu-chemnitz.de/pub/2003/0136/data/dissertation2002_jwibbeler.pdf

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Identifer	oai:union.ndltd.org:OCLC/oai:xtcat.oclc.org:OCLCNo/176878081
Creators	Wibbeler, Jürgen.
Source Sets	OCLC
Language	German
Detected Language	German