Modellierung eines Plasmaätzverfahrens am Beispiel der Ätzung einer Siliziumoberfläche durch ein Chlor-Argon-Plasma

Description

Universiẗat, Diss., 2003--Stuttgart.

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1. http://deposit.d-nb.de/cgi-bin/dokserv?idn=969936516
2. http://elib.uni-stuttgart.de/opus/volltexte/2004/1540/pdf/Dissertation_Nold.pdf
3. http://elib.uni-stuttgart.de/opus/volltexte/2004/1540/index.html

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Identifer	oai:union.ndltd.org:OCLC/oai:xtcat.oclc.org:OCLCNo/176854198
Creators	Nold, Michael.
Source Sets	OCLC
Language	German
Detected Language	German
Type	Online-Publikation.