Analyse de défaillances de circuits VLSI par microscopie électronique à balayage

Description

Reproduction de : Thèse de docteur-ingénieur : micro-électronique : Grenoble, INPG : 1985. / Titre provenant de l'écran-titre.

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1. http://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00315589

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Identifer	oai:union.ndltd.org:OCLC/oai:xtcat.oclc.org:OCLCNo/494152606
Date	January 2008
Creators	Bergher, Laurent. Courtois, Bernard.
Publisher	S.l. : Université Grenoble 1,
Source Sets	OCLC
Language	French
Detected Language	French