Plasmadiagnostische Charakterisierung der Magnetronentladung zur c-BN-Abscheidung

Description

Chemnitz, Zwickau, Techn. Universiẗat, Diss., 1998.

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1. http://archiv.tu-chemnitz.de/pub/1999/0006/data/welzel.ps
2. http://deposit.ddb.de/cgi-bin/dokserv?idn=955970989

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Identifer	oai:union.ndltd.org:OCLC/oai:xtcat.oclc.org:OCLCNo/76021205
Date	January 1998
Creators	Welzel, Thomas.
Publisher	[S.l. : s.n.],
Source Sets	OCLC
Language	German
Detected Language	German