Untersuchungen zur Synthese von c-BN-Schichten mit ECWR-PACVD und Boran-Ammonia als Eduktmaterial

Description

Universiẗat, Diss., 2001--Kaiserslautern.

Links & Downloads

1. http://deposit.d-nb.de/cgi-bin/dokserv?idn=96201320X
2. http://kluedo.ub.uni-kl.de/volltexte/2001/1368/pdf/dissertation_5.pdf

Tags

CBN <Werkstoff> PECVD-Verfahren.

Additional Fields

Identifer	oai:union.ndltd.org:OCLC/oai:xtcat.oclc.org:OCLCNo/174700307
Creators	Schumacher, Alain.
Source Sets	OCLC
Language	German
Detected Language	German
Type	Online-Publikation.