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Dépôt de films minces de silicium et de nitrures de silicium par pulvérisation cathodique réactive magnétron

Doctorat en Sciences / info:eu-repo/semantics/nonPublished

Identiferoai:union.ndltd.org:ulb.ac.be/oai:dipot.ulb.ac.be:2013/210791
Date January 2006
CreatorsBatan, Abdelkrim
ContributorsReniers, François
PublisherUniversite Libre de Bruxelles, Université libre de Bruxelles, Faculté des sciences, Bruxelles
Source SetsUniversité libre de Bruxelles
LanguageFrench
Detected LanguageFrench
Typeinfo:eu-repo/semantics/doctoralThesis, info:ulb-repo/semantics/doctoralThesis, info:ulb-repo/semantics/openurl/vlink-dissertation
Format1 v., No full-text files

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