Гибридное моделирование плазменного синтеза линейно-цепочечного углерода на полупроводниковой подложке : магистерская диссертация / Hybrid Simulation of Plasma Synthesis of Linear-Chain Carbon on a Semiconductor Substrate

Description

Объект исследования – линейно-цепочечный углерод на подложке кремния. Цель работы – моделирование синтеза цепочечного углерода методом гибридной молекулярной динамики. Методы исследования: гибридная квантово-классическая молекулярная динамика. В ходе выполнения данной магистерской диссертации на языке Python были написаны программы, запускающие моделирование квантово-классической молекулярной динамики. В результате был разработан модуль для реализации электростатического подхода QM/MM вычислений. На основе данного модуля было произведено моделирование ионно-плазменного синтеза углеродной пленки. Анализа полученных структур показал, что содержание sp1, sp2, sp3 углерода в пленке максимально при энергиях аргона 40, 70, 90 эВ соответственно. / The object under study is linear-chained carbon on a silicon substrate. The aim of this work is linear-chained carbon synthesis simulation by the hybrid molecular dynamics. Research methods: hybrid quantum-classical molecular dynamics. In the course of this master's dissertation, Python programs were written. That programs run the simulation of quantum-classical molecular dynamics. As a result, a module was developed to implement the electrostatic approach of QM/MM calculations. On the basis of this module, modeling of the ion-beam plasma synthesis of a carbon film was carried out. The obtained structures analysis showed that the content of sp1, sp2, and sp3 carbon in the film is maximum at argon energies of 40, 70, and 90 eV, respectively.

Links & Downloads

1. Матицев А. И. Гибридное моделирование плазменного синтеза линейно-цепочечного углерода на полупроводниковой подложке : магистерская диссертация / А. И. Матицев ; Уральский федеральный университет имени первого Президента России Б. Н. Ельцина, Физико-технологический институт, Кафедра физических методов и приборов контроля качества. — Екатеринбург, 2022. — 104 с. — Библиогр.: с. 79-88 (82 назв.).
2. http://elar.urfu.ru/handle/10995/120022

Tags

MASTER'S THESIS

LINEAR-CHAINED CARBON

MOLECULAR DYNAMICS

HYBRID QUANTUM-CLASSICAL SIMULATION

Additional Fields

Identifer	oai:union.ndltd.org:urfu.ru/oai:elar.urfu.ru:10995/120022
Date	January 2022
Creators	Матицев, А. И., Matitsev, A. I.
Contributors	Бунтов, Е. А., Buntov, E. A., УрФУ. Физико-технологический институт, Кафедра физических методов и приборов контроля качества
Publisher	б. и.
Source Sets	Ural Federal University
Language	Russian
Detected Language	Russian
Type	Master's thesis, info:eu-repo/semantics/publishedVersion, info:eu-repo/semantics/masterThesis
Format	application/pdf
Rights	Предоставлено автором на условиях простой неисключительной лицензии, http://elar.urfu.ru/handle/10995/31613