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Sistema de controle microprocessado para tanques para Wet-etching/cleaning em microeletronica

Orientador: Jose Antonio Siqueira Dias / Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Eletrica / Made available in DSpace on 2018-07-21T10:43:13Z (GMT). No. of bitstreams: 1
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Previous issue date: 1996 / Resumo: Tanques para banho à temperatura constante necessitam de um sistema de controle para monitoração e controle de sua temperatura de operação e demais funções. O controle da temperatura deve ser rígido e preciso; condições de alarme e desligamento automático devem ser previstos. O presente trabalho pretende estudar, implementar e testar um protótipo de um sistema de controle microprocessado para tais tanques. Este trabalho apresenta um controlador digital do tipo PID, baseado na arquitetura do microcontrolador 8051 da Intel, com aIto desempenho, robusto, eficiente e simples, características estas comprovadas através de testes práticos realizados no final do projeto / Abstract: Tanks for constant temperature bath need a temperature and related functions moni toring and control system. Temperature control must be constant and precise; alarm and automatic switching off conditions must be provided. This work is to study, implement and test a microprocessor controller's prototype for such tanks. This work presents a digital controller with a PID control scheme, based in the architecture of the Intel' s 8051 microcontroller, with high performance, strong, efficient and simple, characteristics verified through practical tests made at the end of the project / Mestrado / Mestre em Engenharia Elétrica

Identiferoai:union.ndltd.org:IBICT/oai:repositorio.unicamp.br:REPOSIP/259325
Date12 February 1996
CreatorsLopes, Silvia Elisabeth Sauaia
ContributorsUNIVERSIDADE ESTADUAL DE CAMPINAS, Dias, José Antonio Siqueira, 1954-
Publisher[s.n.], Universidade Estadual de Campinas. Faculdade de Engenharia Elétrica e de Computação, Programa de Pós-Graduação em Engenharia Elétrica
Source SetsIBICT Brazilian ETDs
LanguagePortuguese
Detected LanguagePortuguese
Typeinfo:eu-repo/semantics/publishedVersion, info:eu-repo/semantics/masterThesis
Format87 f. : il., application/pdf
Sourcereponame:Repositório Institucional da Unicamp, instname:Universidade Estadual de Campinas, instacron:UNICAMP
Rightsinfo:eu-repo/semantics/openAccess

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