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Étude d'un système planaire de gravure de couches minces par plasma réactif pour la fabrication de microcircuits.

Th. 3e cycle--Électronique et radiocommunications--Grenoble--I.N.P., 1980. N°: D3 97.

Identiferoai:union.ndltd.org:OCLC/oai:xtcat.oclc.org:OCLCNo/464933211
Date January 1900
CreatorsLaporte, Philippe,
Publisher[S.l. : s.n.,
Source SetsOCLC
LanguageFrench
Detected LanguageFrench

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