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MONITORING OF SULFUR - CONTAING ADDITIVES IN COPPER ELECTRODEPOSITION BY ROTATING RING - DISK ELECTRODE AND COPPER ELECTRODEPOSITION FOR HYBRID BONDING / イオウを含有する添加剤の回転リングーディスク電極によるモニタリングとハイブリッド接合のための電気銅めっき

京都大学 / 新制・課程博士 / 博士(エネルギー科学) / 甲第23396号 / エネ博第423号 / 新制||エネ||80(附属図書館) / 京都大学大学院エネルギー科学研究科エネルギー応用科学専攻 / (主査)教授 平藤 哲司, 教授 土井 俊哉, 准教授 三宅 正男 / 学位規則第4条第1項該当 / Doctor of Energy Science / Kyoto University / DGAM

Identiferoai:union.ndltd.org:kyoto-u.ac.jp/oai:repository.kulib.kyoto-u.ac.jp:2433/264677
Date24 May 2021
CreatorsTran, Van Nhat Anh
Contributorsトラン, バン ナト アン
PublisherKyoto University, 京都大学
Source SetsKyoto University
LanguageEnglish
Detected LanguageJapanese
Typedoctoral thesis, Thesis or Dissertation
Rights学位規則第9条第2項により要約公開, 1. A. V. N. Tran, L. D. Tran, H. V. Hoang, and K. Kondo, “A Rotating Ring Disk Electrode Study of Detect the Acceleration Effect of SPS and MPS in the Presence of Chloride ”, J. Surf. Finish. Soc. Japan, vol. 68, no. 8, pp. 472-473, 2017. DOI: 10.4139/sfj.68.472 2. A. V. N. Tran, H. V. Hoang, K. Kondo, and T. Hirato, “A Rotating Ring Disk Study of Accelerators with Cl- and Br- for Copper Damascence Electrodeposition”, J. Surf. Finish. Soc. Japan, vol. 69, no.8, pp. 352-355, 2018.DOI: 10.4139/sfj.69.352 3. A. V. N. Tran, H. V. Hoang, K. Kondo, and T. Hirato, “ Monitoring of SPS Concentration by the Ring Current Using a Rotating Ring-Disk Electrode with Dissolving Disk Copper to Refresh a Void Free Solution”, J. Electrochem. Soc., vol. 166, no. 14, pp. D742, 2019. DOI: 10.1149/2.0841914jes 4. A. V. N. Tran, K. Kondo, and T. Hirato, “High TEC Copper to Connect Copper Bond Pads for Low Temperature Wafer Bonding”, J. Solid State Sci. Technol., vol. 9, pp. 124003, 2020. DOI: 10.1149/2162-8777/abd14a 5. A. V. N. Tran, K. Kondo, and T. Hirato, “A Rotating Ring-Disk Study to Monitor the Concentration of 2M5S in Copper Low TEC Electrolyte”, J. Electrochem. Soc., 2021. (Accepted on 23rd April) DOI: 10.1149/1945-7111/abfb3b

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