Gray-box modeling and model-based control of Czochralski process producing 300 mm diameter Silicon ingots / 直径300mmのシリコンインゴットを製造するチョクラルスキープロセスのグレーボックスモデリング及びグレーボックスモデルに基づく予測制御

Description

京都大学 / 新制・課程博士 / 博士(情報学) / 甲第24040号 / 情博第796号 / 新制||情||135(附属図書館) / 京都大学大学院情報学研究科システム科学専攻 / (主査)教授 加納 学, 教授 大塚 敏之, 教授 下平 英寿 / 学位規則第4条第1項該当 / Doctor of Informatics / Kyoto University / DGAM

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1. http://hdl.handle.net/2433/275362
2. 10.14989/doctor.k24040
3. 14301

Tags

Czochralski process

Gray-box model

Model predictive control (MPC)

Successive linearization

Moving horizon estimation

Semiconducting silicon

007

Additional Fields

Identifer	oai:union.ndltd.org:kyoto-u.ac.jp/oai:repository.kulib.kyoto-u.ac.jp:2433/275362
Date	23 March 2022
Creators	Kato, Shota
Contributors	加藤, 祥太, カトウ, ショウタ
Publisher	Kyoto University, 京都大学
Source Sets	Kyoto University
Language	English
Detected Language	Japanese
Type	doctoral thesis, Thesis or Dissertation
Rights	許諾条件により本文は2023-01-16に公開