Etude de la nucléation et de la croissance de nanocristaux de silicium élaborés par dépôt chimique en phase vapeur pour dispositifs nanoélectroniques

Description

Thèse doctorat : Dispositifs de l'Electronique Intégrée : Villeurbanne, INSA : 2003. / Titre provenant de l'écran-titre. Bibliogr. à la fin de chaque chapitre.

Links & Downloads

1. http://docinsa.insa-lyon.fr/these/pont.php?id=mazen

Tags

Additional Fields

Identifer	oai:union.ndltd.org:OCLC/oai:xtcat.oclc.org:OCLCNo/492967356
Date	January 2005
Creators	Mazen, Frédéric Brémond, Georges.
Publisher	Villeurbanne : Doc'INSA,
Source Sets	OCLC
Language	French
Detected Language	French