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Implementação de um sistema LPCVD vertical para obtenção de filmes finos de silicio policristalino

Orientador : Ioshiaki Doi / Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Eletrica / Made available in DSpace on 2018-07-28T11:13:54Z (GMT). No. of bitstreams: 1
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Previous issue date: 2001 / Mestrado

Identiferoai:union.ndltd.org:IBICT/oai:repositorio.unicamp.br:REPOSIP/260110
Date28 July 2018
CreatorsTeixeira, Ricardo Cotrin
ContributorsUNIVERSIDADE ESTADUAL DE CAMPINAS, Doi, Ioshiaki, 1944-
Publisher[s.n.], Universidade Estadual de Campinas. Faculdade de Engenharia Eletrica
Source SetsIBICT Brazilian ETDs
LanguagePortuguese
Detected LanguagePortuguese
Typeinfo:eu-repo/semantics/publishedVersion, info:eu-repo/semantics/masterThesis
Format85p. : il., application/pdf
Sourcereponame:Repositório Institucional da Unicamp, instname:Universidade Estadual de Campinas, instacron:UNICAMP
Rightsinfo:eu-repo/semantics/openAccess

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