Die optische Selektivität von W/Altn2O3-Schichten nach Auslagerungen bei 500C mittels spektraler Ellipsometrie zwischen 0,25 und 25 63mm

Description

Techn. Universiẗat, Diss., 1998--Berlin.

Links & Downloads

1. http://deposit.d-nb.de/cgi-bin/dokserv?idn=958560196

Tags

Additional Fields

Identifer	oai:union.ndltd.org:OCLC/oai:xtcat.oclc.org:OCLCNo/174682710
Creators	Ǧahānbakhsh, Mohammad.
Source Sets	OCLC
Language	German
Detected Language	German
Type	Online-Publikation.