Bestimmung physikalischer und technischer Randbedingungen zur Umsetzung eines photoakustischen Gassensors in der Mikrosystemtechnik

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Zugl.: Ilmenau, Techn. Univ., Diss., 2007

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Identifer	oai:union.ndltd.org:OCLC/oai:xtcat.oclc.org:OCLCNo/260049718
Date	January 2007
Creators	Schulz, Olaf
Publisher	Ilmenau Univ.-Verl.
Source Sets	OCLC
Language	German
Detected Language	German