Detektorkonzepte für miniaturisierte Elektronenstrahl-Lithographiegeräte

Description

Tübingen, Universiẗat, Diss., 2004.

Links & Downloads

1. http://deposit.ddb.de/cgi-bin/dokserv?idn=972136444
2. http://w210.ub.uni-tuebingen.de/dbt/volltexte/2004/1352/pdf/Druckversion.pdf
3. http://w210.ub.uni-tuebingen.de/dbt/volltexte/2004/1352/index.html

Tags

Elektronenstrahllithographie

Additional Fields

Identifer	oai:union.ndltd.org:OCLC/oai:xtcat.oclc.org:OCLCNo/76493697
Date	January 2004
Creators	Fritz, Georg Stefan.
Publisher	[S.l. : s.n.],
Source Sets	OCLC
Language	German
Detected Language	German
Source	LF