Im Rahmen dieser Arbeit ist ein neues Meßverfahren zur Online und in-situ-Partikeldetektion auf Oberflächen konzipiert, realisiert und verifiziert worden, das die Detektion der Verunreinigungen durch eine transparente Oberfläche hindurch mit Hilfe der Streulichtmeßtechnik erlaubt. Dieser innovative Schritt erlaubt es, alle Meßsystemkomponenten unterhalb der transparenten Oberfläche anzuordnen. Erstmals wird eine in-situ-Fähigkeit des Meßverfahrens im Gegensatz zu existierenden Oberflächenmeßtechniken erzielt.
| Identifer | oai:union.ndltd.org:DUETT/oai:DUETT:duett-09072001-101656 |
| Date | 07 September 2001 |
| Creators | Semleit, Dirk |
| Contributors | Prof. Dr. ing. Heinz Fissan, Prof. Dr.-ing. Adalbert Beyer |
| Publisher | Gerhard-Mercator-Universitaet Duisburg |
| Source Sets | Dissertations and other Documents of the Gerhard-Mercator-University Duisburg |
| Language | German |
| Detected Language | German |
| Type | text |
| Format | application/zip, text/html, application/pdf |
| Source | http://www.ub.uni-duisburg.de/ETD-db/theses/available/duett-09072001-101656/ |
| Rights | unrestricted, I hereby certify that, if appropriate, I have obtained and attached hereto a written permission statement from the owner(s) of each third party copyrighted matter to be included in my thesis, dissertation, or project report, allowing distribution as specified below. I certify that the version I submitted is the same as that approved by my advisory committee. Hiermit erteile ich der Universitaet Duisburg das nicht-ausschliessliche Recht unter den unten angegebenen Bedingungen, meine Dissertation, Staatsexamens- oder Diplomarbeit, meinen Forschungs- oder Projektbericht zu veroeffentlichen und zu archivieren. Ich behalte das Urheberrecht und das Recht das Dokument zu veroeffentlichen und in anderen Arbeiten weiterzuverwenden. |
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