En esta tesis se muestran arquitecturas y circuitos CMOS para el control de actuadores electroestáticos MEMS y para la generación y procesado de las señales proveniente de microsistemas. En el primer capítulo se introducen dos circuitos para la estimación de distancia o capacidad entre armaduras de actuadores electroestáticos y se muestran aplicaciones de los mismos, incluyendo la caracterización de la estática y dinámica de los actuadores, la detección de fallos y envejecimiento y su aplicación dentro de osciladores digitales pulsados y como parte de un sistema de actuación resonante de baja tensión. En el segundo capítulo se muestra un estudio sobre la viabilidad de la fabricación monolítica de actuadores electroestáticos dentro del proceso CMOS utilizando un sencillo proceso de wet etching de bajo coste para liberar las estructuras. En el tercer capítulo se presentan dos elementos translineales CMOS de alto ancho de banda y alta precisión y su aplicación como multiplicadores, divisores, filtros y como parte integrante de una celda reconfigurable con la que construir una FPAA capaz de realizar numerosas funciones del procesado analógico de señal. En el cuarto capítulo se muestran diseños adicionales como una ley para el control de la dinámica de actuadores electroestáticos con la que se pueden ajustar eléctricamente todos los parámetros que gobiernan su movimiento y un convertidor de potencia integrado con control digital basado en una máquina de estados asíncrona. Finalmente, en el capítulo cinco, se presentan las conclusiones finales de este trabajo.
| Identifer | oai:union.ndltd.org:TDX_UPC/oai:www.tdx.cat:10803/6355 |
| Date | 01 November 2008 |
| Creators | Fernández Martínez, Daniel |
| Contributors | Madrenas, Jordi, Universitat Politècnica de Catalunya. Departament d'Enginyeria Electrònica |
| Publisher | Universitat Politècnica de Catalunya |
| Source Sets | Universitat Politècnica de Catalunya |
| Language | Spanish |
| Detected Language | Spanish |
| Type | info:eu-repo/semantics/doctoralThesis, info:eu-repo/semantics/publishedVersion |
| Format | application/pdf |
| Source | TDX (Tesis Doctorals en Xarxa) |
| Rights | ADVERTIMENT. L'accés als continguts d'aquesta tesi doctoral i la seva utilització ha de respectar els drets de la persona autora. Pot ser utilitzada per a consulta o estudi personal, així com en activitats o materials d'investigació i docència en els termes establerts a l'art. 32 del Text Refós de la Llei de Propietat Intel·lectual (RDL 1/1996). Per altres utilitzacions es requereix l'autorització prèvia i expressa de la persona autora. En qualsevol cas, en la utilització dels seus continguts caldrà indicar de forma clara el nom i cognoms de la persona autora i el títol de la tesi doctoral. No s'autoritza la seva reproducció o altres formes d'explotació efectuades amb finalitats de lucre ni la seva comunicació pública des d'un lloc aliè al servei TDX. Tampoc s'autoritza la presentació del seu contingut en una finestra o marc aliè a TDX (framing). Aquesta reserva de drets afecta tant als continguts de la tesi com als seus resums i índexs., info:eu-repo/semantics/openAccess |
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