Aby bylo možné charakterizovat atmosfericky citlivé vzorky ve vysokofrekvenčním elektronovém paramagnetickém rezonančním spektrometru (z angl. high-frequency electron paramagnetic resonance spectrometer, HF-EPR), je potřebné mít vakuový transportní systém. Cílem této práce je navrhnout a vyvinout tento vakuový přepravní systém, který umožní tuto přepravu. Vakuový systém, který se skládá z mobilního vakuového kufru, držáku palety a přechodové komory, byly navrženy, sestaveny a testovány. Bylo dosaženo tlaku 4,3 10^{-10}mbar, což zajistí inertní podmínky pro transport vzorků. Byl proveden transport vzorku ze systému ultravysokého vakua (UHV) do HF-EPR spektrometru. Kontaminace testovacích vzorků byla charakterizována pomocí rentgenové fotoelektronové spektroskopie. Bylo zjištěno, že nedochází téměř k žádné detekovatelné kontaminaci, pokud je vzorek přepravován pomocí vakuovém systému méně než 16 hodin. Bylo navrženo rozšíření pro přepravu vzorků z rukavicového boxu a paletky pro grafen, ale jejich výroba dosud nebyla provedena. Vyvinutý vakuový systém je plně funkční a poskytuje alternativu ke komerčně dostupným produktům, a proto bude dále používán při zkoumání vzorků citlivých na atmosféru v laboratořích CEITEC Nano.
Identifer | oai:union.ndltd.org:nusl.cz/oai:invenio.nusl.cz:417153 |
Date | January 2020 |
Creators | Láznička, Tomáš |
Contributors | Slageren, Joris van, Neugebauer, Petr |
Publisher | Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství |
Source Sets | Czech ETDs |
Language | English |
Detected Language | Unknown |
Type | info:eu-repo/semantics/masterThesis |
Rights | info:eu-repo/semantics/restrictedAccess |
Page generated in 0.1146 seconds