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Minimização da energia de deformação de filmes finos com substratos espessos / Minimizing the stroin energy of thin films on thick substrates

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RESUMO- Fabio Nery.pdf: 214160 bytes, checksum: a7fa12ba9fb8da2aa6290a30867a85b2 (MD5)
Previous issue date: 2009-07-31 / Coordenação de Aperfeiçoamento de Pessoal de Nível Superior / O objetivo deste trabalho é a obtenção de um modelo tridimensional, que descreva as tensões que surgem em filmes finos depositados em substratos espessos planos. Para isto é utilizado o método da minimização da energia de deformação da amostra (filme fino/substrato), já descrito e utilizado na literatura para uma descrição unidimensional do problema. A vantagem deste método é sua maior simplicidade em relação a uma abordagem tensorial do problema, uma vez que envolve uma grandeza escalar (energia de deformação) de identificação mais simples que as diversas componentes de um tensor de tensões. Após a apresentação do problema físico e da metodologia, é feita a aplicação a duas situações de interesse: para uma amostra submetida a valores de tensão menos elevados, adquirindo uma forma proximadamente esférica e para uma amostra submetida a valores mais elevados de tensão, adquirindo uma forma aproximadamente cilíndrica. Nestes dois casos se obteve uma fórmula que relaciona a linha de tensão do filme com a curvatura da amostra, que é então comparada com outras formulações.

Identiferoai:union.ndltd.org:IBICT/oai:tede.udesc.br #179.97.105.11:handle/2000
Date31 July 2009
CreatorsNery, Fábio
ContributorsPureza, Júlio Miranda
PublisherUniversidade do Estado de Santa Catarina, Mestrado em Física, UDESC, BR, Física
Source SetsIBICT Brazilian ETDs
LanguagePortuguese
Detected LanguagePortuguese
Typeinfo:eu-repo/semantics/publishedVersion, info:eu-repo/semantics/masterThesis
Formatapplication/pdf
Sourcereponame:Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da UDESC, instname:Universidade do Estado de Santa Catarina, instacron:UDESC
Rightsinfo:eu-repo/semantics/openAccess

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