Desenvolvimento de um sistema de deposição de filmes finos pela tecnica de "sputtering" com aplicação a filmes de Ta e TaN

Description

Orientador : Len Mei / Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia de Campinas / Made available in DSpace on 2018-07-16T11:26:13Z (GMT). No. of bitstreams: 1
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Previous issue date: 1979 / Resumo: Neste trabalho foi desenvolvido o sistema de deposição de filmes pela técnica de "sputtering" D.C., com aplicação ao Tântalo e seus compostos. O equipamento foi projetado e construído dentro da opção de se utilizar o máximo de recursos e tecnologias nacionais. Diversos acessórios, necessários à operação do sistema, foram projetados e construídos localmente, e apresentam algumas novidades em suas concepções. O sistema foi montado e caracterizado dinamicamente, variando-se as condições de bombeamento, as pressões de operação, a tensão e corrente de deposição. e a natureza do conjunto de gases utilizado. Como aplicação ao trabalho realizado foram depositados e analisados filmes finos com.base no Tântalo, visando a obtenção de tecnologia para a realização posterior de componentes eletr6nicos. Foram obtidos filmes de Nitreto de Tântalo, em condições de repetibilidade, com resistividade de "plateau" da ordem de 250 mOcm e coeficiente de temperatura da resistividade melhor que -100 ppm °c-1, sem o uso complementar de "annealing", oxidação e envelhecimento / Abstract: Not informed / Mestrado / Mestre em Engenharia Elétrica

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1. MELO JUNIOR, Alfeu Vaz de. Desenvolvimento de um sistema de deposição de filmes finos pela tecnica de "sputtering" com aplicação a filmes de Ta e TaN. 1979. 1v. (varias paginações). Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia de Campinas, Campinas, SP. Disponível em: <http://www.repositorio.unicamp.br/handle/REPOSIP/259426>. Acesso em: 16 jul. 2018.
2. http://repositorio.unicamp.br/jspui/handle/REPOSIP/259426

Tags

Filmes finos

Additional Fields

Identifer	oai:union.ndltd.org:IBICT/oai:repositorio.unicamp.br:REPOSIP/259426
Date	16 July 2018
Creators	Melo Junior, Alfeu Vaz de
Contributors	UNIVERSIDADE ESTADUAL DE CAMPINAS, Mei, Len
Publisher	[s.n.], Universidade Estadual de Campinas. Faculdade de Engenharia de Campinas, Programa de Pós-Graduação em Engenharia Elétrica
Source Sets	IBICT Brazilian ETDs
Language	Portuguese
Detected Language	Portuguese
Type	info:eu-repo/semantics/publishedVersion, info:eu-repo/semantics/masterThesis
Format	1v. (varias paginações) : il., application/pdf
Source	reponame:Repositório Institucional da Unicamp, instname:Universidade Estadual de Campinas, instacron:UNICAMP
Rights	info:eu-repo/semantics/openAccess