Relaxationsphänomene in keramischen Dünnschichten für zukünftige hochintegrierte Halbleiterspeicher /

Description

Techn. Hochsch., Diss--Aachen. / Nebent.: Relaxationsphänomene in Dünnschichten. Literaturverz. S. 135 - 151.

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1. http://www.gbv.de/dms/bs/toc/253519446.pdf

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Identifer	oai:union.ndltd.org:OCLC/oai:xtcat.oclc.org:OCLCNo/246035694
Date	January 1998
Creators	Schumacher, Marcus.
Publisher	Düsseldorf : VDI-Verl.,
Source Sets	OCLC
Language	German
Detected Language	German