Simulationsgestützte Optimierung von Fertigungsabläufen in der Produktion elektronischer Halbleiterspeicher /

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Zugl.: Dresden, Techn. Universiẗat, Diss., 2008.

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1. http://d-nb.info/990412741/04
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3. http://deposit.d-nb.de/cgi-bin/dokserv?id=3156644&prov=M&dok_var=1&dok_ext=htm

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Identifer	oai:union.ndltd.org:OCLC/oai:xtcat.oclc.org:OCLCNo/271645605
Date	January 2008
Creators	Horn, Sven.
Publisher	Templin : Detert,
Source Sets	OCLC
Language	German
Detected Language	German