Entwicklung von Methoden zur Untersuchung organischer Spurenverunreinigungen in hochreinen Chemikalien für die Halbleiterproduktion mit der Gaschromatographie

Description

Darmstadt, Techn. Universiẗat, Diss., 2000.

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1. http://elib.tu-darmstadt.de/diss/000053/BKDiss.pdf
2. http://deposit.ddb.de/cgi-bin/dokserv?idn=96042105X

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Identifer	oai:union.ndltd.org:OCLC/oai:xtcat.oclc.org:OCLCNo/76229762
Date	January 2000
Creators	Kusserow, Burkhard.
Publisher	[S.l. : s.n.],
Source Sets	OCLC
Language	German
Detected Language	German