Основными технологическими и трудно определяемыми примесями в h-BN выступают углерод и кислород. На производстве возникает необходимость в контроле качества с высоким пространственным разрешением как отдельных нанослоев h-BN, так и готовых гетероструктур на его основе. Целью работы является разработка способа неразрушающего контроля дефектности и примесного состава тонких слоев h-BN методами комбинационного рассеяния света и катодолюминесцентной спектрометрии. Выполнен литературный обзор особенностей материала гексагонального нитрида бора и его люминесцентных свойств. Проведены измерения исследуемых образцов при помощи рамановского спектрометра, сканирующего электронного микроскопа с катодолюминесцентной приставкой и электронно-зондового микроанализатора. Выполнен анализ полученных результатов. / The main technological and difficult-to-determine impurities in h-BN are carbon and oxygen. In production, there is a need for quality control with high spatial resolution of both individual h-BN nanolayers and heterostructures based on it. The aim of the work is to develop a method for non-destructive testing of the defects and impurity composition of h-BN thin layers by Raman scattering and cathodoluminescence spectrometry. A literature review of the features of the material of hexagonal boron nitride and its luminescent properties is performed. The samples were measured using a Raman spectrometer, a scanning electron microscope with a cathodoluminescent attachment, and an electron probe microanalyzer. The analysis of the obtained results is performed. Areas of application: diagnostics and quality control.
Identifer | oai:union.ndltd.org:urfu.ru/oai:elar.urfu.ru:10995/107343 |
Date | January 2021 |
Creators | Михалевский, Г. Б., Mikhalevskii, G. B. |
Contributors | Вохминцев, А. С., Vokhmintsev, A. S., УрФУ. Физико-технологический институт, Кафедра физических методов и приборов контроля качества |
Publisher | б. и. |
Source Sets | Ural Federal University |
Language | Russian |
Detected Language | Russian |
Type | Master's thesis, info:eu-repo/semantics/publishedVersion, info:eu-repo/semantics/masterThesis |
Format | application/pdf |
Rights | Предоставлено автором на условиях простой неисключительной лицензии, http://elar.urfu.ru/handle/10995/31613 |
Page generated in 0.0024 seconds