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CMOS-Prozessintegration von epitaktischen Selten-Erden-Oxiden als high-K-Dielektrika auf SOI-Substraten

Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2007

  1. http://d-nb.info/988057999/04
Identiferoai:union.ndltd.org:OCLC/oai:xtcat.oclc.org:OCLCNo/226293854
Date January 2007
CreatorsGottlob, Heinrich Dieter Bernd
PublisherAachen Shaker
Source SetsOCLC
LanguageGerman
Detected LanguageGerman

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