Herstellung, Charakterisierung und Bewertung leitfähiger Diffusionsbarrieren auf Basis von Tantal, Titan und Wolfram für die Kupfermetallisierung von Siliciumschaltkreisen

Description

Chemnitz, Techn. Univ., Diss., 2003. / Auch im Shaker-Verl. ersch. u.d.Titel: Herstellung, Charakterisierung und Bewertung von leitfähigen Diffusionsbarrieren auf Basis von Ta, Ti und W für die Kupfermetallisierung von Siliciumschaltkreisen, 2004 (3-8322-2532-3).

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1. http://www.bsz-bw.de/cgi-bin/xvms.cgi?SWB11163724

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Identifer	oai:union.ndltd.org:OCLC/oai:xtcat.oclc.org:OCLCNo/315076517
Date	January 2004
Creators	Baumann, Jens,
Publisher	[S.l. : s.n.],
Source Sets	OCLC
Language	German
Detected Language	German
Type	Online-Publikation.