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Computersimulation der Dynamik von Schicht und Vorschicht bei der Plasmaimmersions-Ionenimplantation

Kaiserslautern, Univ., Diss., 2002. / Computerdatei im Fernzugriff.

Identiferoai:union.ndltd.org:OCLC/oai:xtcat.oclc.org:OCLCNo/638431532
Date January 1900
CreatorsBriehl, Boris.
Publisher[S.l.] : [s.n.],
Source SetsOCLC
LanguageUndetermined
Detected LanguageGerman

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