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Herstellung grossflächiger Nanostrukturen mittels Interferenzlithographie

Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2007

  1. http://d-nb.info/991819527/04
Identiferoai:union.ndltd.org:OCLC/oai:xtcat.oclc.org:OCLCNo/300462948
Date January 2007
CreatorsMoormann, Christian
PublisherAachen Shaker
Source SetsOCLC
LanguageGerman
Detected LanguageGerman

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