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Caractérisation par spectrométrie de masse des ions secondaires des zones actives du CMOS ultime étude de la rugosité en fond du cratère et ses conséquences sur la vitesse d'érosion et sur la résolution en profondeur /

Thèse doctorat : Dispositifs de l'Electronique Intégrée : Villeurbanne, INSA : 2004. / Titre provenant de l'écran-titre. Bibliogr. à la fin de chaque chapitre.

Identiferoai:union.ndltd.org:OCLC/oai:xtcat.oclc.org:OCLCNo/493176179
Date January 2005
CreatorsFares, Boubker Dupuy, Jean-Claude
Publisher[S.l.] : [s.n.],
Source SetsOCLC
LanguageFrench
Detected LanguageFrench

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