No presente trabalho foi desenvolvida uma teoria de característica elétrica da estrutura metal-isolante-metal considerando uma camada fina de óxido entre o metal e o isolante, sendo o óxido um outro isolante de banda de energia proibida mais larga. Foi considerada uma distribuição energética uniforme de estados de impurezas à interface óxido-isolante. Estudamos a distribuição real do potencial na região de carga espacial usando a equação de Poisson. Através desta distribuição obtemos a relação entre o potencial de contato e a carga positiva na região de depleção e assim a característica capacitância-voltagem da estrutura. Este tipo de característica é útil para se calcular as características corrente em função do potencial e corrente em função do tempo para um dado potencial e deste modo é importante para o entendimento das estruturas MIM e MOIM. / In this work we have developed a theory of electric characteristic of the metal-oxide-insulator-metal structure, considering a thin film of oxide between metal and insulator; the oxide is another insulator of wider forbidden energy gap. A uniform energy distribution of impurity states at the oxide-insulator interface was considered. W e have studied the actual distribution of potential in the region of spatial charge using the Poisson equation. With this distribution we obtain the relation between the contact potential and the charge in the depletion region and then the characteristic potential - capacitance of t his structure. This type of characteristic is useful to calculate the characteristic current - potential, and current-time at a given potential . In this manner it is important to the understanding of MIM and MOIM structures.
| Identifer | oai:union.ndltd.org:usp.br/oai:teses.usp.br:tde-16012008-104334 |
| Date | 01 September 1989 |
| Creators | Moraes, Marta Bueno de |
| Contributors | Gupta, Hari Mohan |
| Publisher | Biblioteca Digitais de Teses e Dissertações da USP |
| Source Sets | Universidade de São Paulo |
| Language | Portuguese |
| Detected Language | Portuguese |
| Type | Dissertação de Mestrado |
| Format | application/pdf |
| Rights | Liberar o conteúdo para acesso público. |
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