Diagnostik an einer gepulsten RF-Entladung zur Erzeugung dünner a:C-H Schichten

Description

Bochum, Universiẗat, Diss., 2002.

Links & Downloads

1. http://www-brs.ub.ruhr-uni-bochum.de/netahtml/HSS/Diss/RudakowskiSiegmar/diss.pdf
2. http://deposit.ddb.de/cgi-bin/dokserv?idn=967219221

Tags

Kohlenstoff Gepulste Gasentladung

Additional Fields

Identifer	oai:union.ndltd.org:OCLC/oai:xtcat.oclc.org:OCLCNo/76442832
Date	January 2002
Creators	Rudakowski, Siegmar.
Publisher	[S.l. : s.n.],
Source Sets	OCLC
Language	German
Detected Language	German