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Design und Realisierung eines elektrostatischen Mikrorelais in Oberflächen-Mikromechanik

Techn. Universiẗat, Diss., 2004--Berlin.

Identiferoai:union.ndltd.org:OCLC/oai:xtcat.oclc.org:OCLCNo/177296189
CreatorsThielicke, Ernst.
Source SetsOCLC
LanguageGerman
Detected LanguageGerman

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