Photostrom-Spektroskopie von Silicium Charakterisierung von Eisen-kontaminiertem Silicium und Isolator-, Silicium-Strukturen mit dem Elymat-Verfahren

Description

Zugl.: Erlangen, Nürnberg, Univ., Diss., 2007 u.d.T.: Rommel, Mathias: Photostrom-Spektroskopie von Silicium im Volumen und an der Grenzfläche zu Siliciumdioxid / vorgelegt von Mathias Rommel / Hergestellt on demand

Links & Downloads

1. http://d-nb.info/989208370/04

Tags

Silicium Eisen Kontamination Photostrom

Additional Fields

Identifer	oai:union.ndltd.org:OCLC/oai:xtcat.oclc.org:OCLCNo/276776790
Date	January 2007
Creators	Rommel, Mathias
Publisher	Saarbrücken VDM Verlag Dr. Müller
Source Sets	OCLC
Language	German
Detected Language	German