Entwicklung eines Prozessmodelles zur Analyse und Prognose der Schnittspaltentwicklung beim Draht-Trennläppen von Silizium /

Description

Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2006.

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1. http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&doc_number=014942040&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA

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Identifer	oai:union.ndltd.org:OCLC/oai:xtcat.oclc.org:OCLCNo/181579781
Date	January 2006
Creators	Huttenhuis op Bevers, Stephan.
Publisher	Aachen : Shaker,
Source Sets	OCLC
Language	Undetermined
Detected Language	German