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単一電子トラップ直視技術の開発とそれを用いた極薄ゲート絶縁膜の劣化機構の解明

科学研究費補助金 研究種目:基盤研究(A)(2) 課題番号:13305005 研究代表者:近藤 博基 研究期間:2001-2004年度

Identiferoai:union.ndltd.org:NAGOYA/oai:ir.nul.nagoya-u.ac.jp:2237/13129
Date04 1900
Creators近藤, 博基, 安田, 幸夫, 財満, 鎭明, 酒井, 朗, 池田, 浩也
Source SetsNagoya University
LanguageJapanese
Detected LanguageJapanese
TypeResearch Paper

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