Orientador: Mauro Monteiro Garcia de Carvalho / Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Instituto de Fisica Gleb Wataghin / Made available in DSpace on 2018-07-13T22:18:30Z (GMT). No. of bitstreams: 1
CamiloJunior_Alexandre_M.pdf: 1569599 bytes, checksum: 94e0ff89ffcb82462b5464797a140693 (MD5)
Previous issue date: 1990 / Resumo: Apresentamos neste trabalho um estudo do crescimento de InP sobre InP pela técnica de Epitaxia Química em Vácuo, utilizando o sistema construído no LPD/DFA-UNICAMP. O material crescido foi caracterizado principalmente por Efeito Hall e fotoluminescência e os resultados comparados com os disponíveis na literatura, referentes a outros tipos de sistemas de crescimento epitaxial em fase vapor. Descrevemos, também, as modificações que foram feitas no sistema com o objetivo de melhorar o aproveitamento da fosfina como fonte de fósforo e a qualidade do material obtido. Juntamente com este estudo iniciou-se a automação do sistema, usando-se um microcomputador padrão IBM PC-XT / Abstract: In this work we present a study on the growth of InP/InP with the Vacuum Chemical Epitaxy (VCE) technique. The VCE system used for this work was the one at Device Research Laboratory/DFA-UNICAMP. The grown material was mainly characterized by Hall effect and photoluminescence; these results were compared with those available in the literature for other vapor-phase epitaxial systems. We also describe here the modifications made to the VCE system in order to improve the utilization of PH3 as P source and the material quality. Together with this study, the automation of the system was carried out, with the use of IBM PC-XT type micro-computer / Mestrado / Física / Mestre em Física
| Identifer | oai:union.ndltd.org:IBICT/oai:repositorio.unicamp.br:REPOSIP/278447 |
| Date | 18 March 1991 |
| Creators | Camilo Junior, Alexandre |
| Contributors | UNIVERSIDADE ESTADUAL DE CAMPINAS, Carvalho, Mauro Monteiro Garcia de, 1948- |
| Publisher | [s.n.], Universidade Estadual de Campinas. Instituto de Física Gleb Wataghin, Programa de Pós-Graduação em Física |
| Source Sets | IBICT Brazilian ETDs |
| Language | Portuguese |
| Detected Language | Portuguese |
| Type | info:eu-repo/semantics/publishedVersion, info:eu-repo/semantics/masterThesis |
| Format | [99] f. : il., application/pdf |
| Source | reponame:Repositório Institucional da Unicamp, instname:Universidade Estadual de Campinas, instacron:UNICAMP |
| Rights | info:eu-repo/semantics/openAccess |
Page generated in 0.0025 seconds