Dynamische Regelung mikroelektromechanischer Systeme (MEMS) mit Hilfe kapazitiver Signalwandlung und Kraftrückkoppelung

Description

München, Techn. Univ., Diss., 2004. / Computerdatei im Fernzugriff.

Links & Downloads

1. http://tumb1.biblio.tu-muenchen.de/publ/diss/ei/2004/handtmann.pdf
2. http://tumb1.biblio.tu-muenchen.de/publ/diss/ei/2004/handtmann.html
3. http://deposit.ddb.de/cgi-bin/dokserv?idn=973065613

Tags

MEMS

Additional Fields

Identifer	oai:union.ndltd.org:OCLC/oai:xtcat.oclc.org:OCLCNo/637450123
Date	January 2004
Creators	Handtmann, Martin.
Publisher	[S.l.] : [s.n.],
Source Sets	OCLC
Language	Undetermined
Detected Language	German