Ein MEMS-Vakuumsensor nach dem Reibungsprinzip /

Description

Zugl.: Chemnitz, Techn. Universiẗat, Diss., 2009.

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1. http://d-nb.info/996520090/04
2. http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&doc_number=018949148&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA

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Identifer	oai:union.ndltd.org:OCLC/oai:xtcat.oclc.org:OCLCNo/444900236
Date	January 2009
Creators	Tenholte, Dirk.
Publisher	Münster : Verl.-Haus Monsenstein und Vannerdat,
Source Sets	OCLC
Language	German
Detected Language	German